GPIXP/D系列激光干涉测量仪，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。可应用于：

平面和球面的面形检测 
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差 
光学材料均匀性测量 
角锥角度和面形偏差测量 
精密盘片质量检验 
三平板绝对测量 
双球面绝对测量 
静态干涉条纹判断 
泽尼克多项式分析 
球面曲率半径测量 
GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪，具有光学器件少，精度高，易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光，光束扩展为1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直径，自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪，形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机，形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹，可以测量样品的表面面形和传输波面质量，样品为平面或球面。如果为非平面和非球面，则需通过加装补偿片等手段进行测量。